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產業動態 TCZ公司發表平面顯示器製造用的先進低溫多晶矽
正平整合行銷股份有限公司 本新聞稿發佈於2005/07/26,由發布之企業承擔內容之立場與責任,與本站無關

TCZ公司今天宣佈用於製造平面顯示器(FPD)的一種創新的生產工具TCZ-900X;該公司是美國Cymer公司(那斯達克全國市場:CYMI)與德國卡爾•蔡司SMT公司組成的一家合資企業。

 
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TCZ公司今天宣佈用於製造平面顯示器(FPD)的一種創新的生產工具TCZ-900X;該公司是美國Cymer公司(那斯達克全國市場:CYMI)與德國卡爾•蔡司SMT公司組成的一家合資企業。利用Cymer公司獲得專利的雷射技術和卡爾•蔡司SMT公司在光學與精密工程方面著名的專門技術,這種先進的TCZ-900X製造工具用於幫低溫多晶矽(LTPS)顯示器廠商提高產出效率和降低雷射結晶成本。

顯示器領導廠商三星電子公司副總經理C.W.金說,“在這個市場中,成本與品質對顯示器廠商來說非常重要。改善顯示器性能,並同時提高生產良率的技術將最終推動平板顯示器(FPD)業向前發展。”

TCZ-900X對諸如準分子雷射回火(ELA)與連續側向結晶(SLS)等現有結晶技術提供一種出色的選擇的方案,並提供了顯示器廠商近期與長期效益的無與倫比的結合,例如:

•藉由加快直接大規模整合驅動電子直接與低溫多晶矽結合,以降低面板成本和提高面板的性能。
•藉由降低驅動電壓、及更小薄膜電晶體(TFT)開關來達到高圖像解析度與減少耗電率。
•分攤設備成本與製程知識,因為TCZ-900X支持主動矩陣液晶顯示器(AMLCD), 系統整合面板(SOP)和下一代有機光發射裝置(OLED)顯示器。
•提高製程量產產出能力並具有良好的晶體均勻性,因為該工具以細長光束(~5微米)一次曝光的掃過整片面板(寛達720毫米)。
•實現較平坦化的平面佈局(沒有(SLS)所引起的垂直凸起物)使閘極氧化層更易量產,進一步降低面板生產成本。
TCZ率先實現細光束有方向性結晶製程設備的商業化,以高的產出效率並提供高載子移動率的低溫多晶矽。TDX-900X設備業務將會由分佈在韓國、日本、臺灣及中國的TCZ客戶服務架構來支援。

“低溫多晶矽(LTPS)顯示器廠商同時擁有多晶矽的兩個固有優點“有效的成本降低、及量產能力”,TCZ公司執行長布萊恩•克里尼(Brian Klene)說。“TCZ-900X證明美國Cymer公司與德國卡爾•蔡司SMT公司這兩家產業龍頭在它們為了一個共同事業而聯手產生巨大的影響並為未來順利移轉到系統整合面板(SOP)和有機激光發射裝置(OLED)顯示器生產奠定堅實的技術基礎時”,克里尼又說。

該工具的核心是具有高重複率達6千赫及900瓦的高精度光束的光學元件的準分子雷射。這種結合可實現高掃描率,從而該系統在很快的時間內掃過Gen4 730 x 900毫米玻璃面板。

設備量產時程
TCZ-900X Alpha版工具已完成,而且將可從2005 第四季供客戶測試評估Q3 2005。實際機台定於2006年中可量產。欲知詳細技術資訊,請連結www.TeamCymerZeiss.com網站。欲查看TCZ-900X的動畫片,請連結工具動畫片。

關於TCZ
TCZ公司是由Cymer公司(股份占60%)與卡爾•蔡司SMT公司(股份占40%)組成的一家合資企業,總部設在美國加州聖地牙哥。 TCZ致力於改善平面顯示器廠商的成本及量產產出效率的創新技術。

- 新聞稿有效日期,至2005/08/26為止


聯絡人 :Erin
聯絡電話:02-23418301#17
電子郵件:erin@accessus.biz

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