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教導學員使其掌握半導體製程設備自動化系統及其主要構成模組之功能需求、系統分析、設計實務等技術。 1. 半導體廠及設備自動物料搬運系統 2. 半導體設備組成及架構技術 3. 晶圓輸送機械手臂設計及控制技術
4. 真空與氣體供應之系統及組件控制技術 5. 半導體設備與上層機台通訊技術 主講人：中山科學研究院 游欽宏 組長 主要研究專長領域：半導體製程設備設計及控制、平面顯示器製程設備設計及控制、控制系統理論與應用、光機電整合控制 曾講授課程之名稱：半導體製程設備概論、先進半導體設備自動化技術、半導體製造廠整合製造技術、集束型半導體製程設備控制器設計、氣液壓控制、伺服機構、精密機械系統控制、精密流體動力控制 - 新聞稿有效日期，至2006/04/08為止
聯絡人 ：陳小姐
聯絡電話：03-5731744, 5731745
電子郵件：patty@mail.nctu.edu.tw
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