主辦單位 經濟部工業局
協辦單位 工研院
承辦單位 台大嚴慶齡工業研究中心 開課日期 2006/7/31
結束日期 2006/8/5
上課時間 7/31, 8/2 , 8/4 週間下午6:30 ~9:30及8/5週末上午 9:30~12:30；共計12小時
上課地點 台大嚴慶齡工業研究中心
台大奈米機電系統研究中心 課程主旨 ：
半導體或平面顯示器工業中，真空系統為不可或缺套件，本課程旨在介紹真空套件選用及組裝要點，並將以物理氣相沉積系統為範例介紹其真空系統實務及應用，其中包括物理氣相沉積系統原理及真空測漏實作，期能對整個真空系統從組裝到保養維修有一整體性的認識。 課程簡介 ：
物理氣相沉積系統
真空套件林組件介紹
真空系統測漏技術
課程內容 ：
1.物理氣相沉積系統Pump原理與選用
2.真空計介紹
3.電子束系統介紹
4.電漿系統介紹
師資介紹 黃添榮 俊尚科技總經理 參加對象 半導體產業、系統廠商之產品佈局開發與半導體相關者、與從事與半導體產業相關事務者(如產業分析、專利與智財分析…等)在職人才 課程費用 總計新台幣 8000元
政府補助新台幣 4000元；學員自付新台幣 4000元 報名專線 02-23628136 及 02-23693661 轉分機 48 陳先生
- 新聞稿有效日期，至2006/07/30為止
聯絡人 ：陳先生
聯絡電話：02-23628136 轉分機 48
電子郵件：kcchen@tl.ntu.edu.tw
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