KLA-Tencor, Inc.今（15）日宣布 Spansion Inc. 已選擇其 eS32 電子束檢測系統作為 65 奈米 MirrorBit® 快閃記憶體生產與 45 奈米開發的多重應用。加州 Sunnyvale 的 SDC 開發晶圓廠已證實，此系統具有可藉由捕獲與識別關鍵系統缺陷以增強良率的能力，這也是 Spansion 選擇 eS32 的最主要原因。

Spansion SDC 的工程部主任 James Pak 表示：「對於競爭激烈的快閃記憶體市場而言，藉由新技術達成產量快速激增的目標是非常重要的，而 KLA-Tencor 的 eS32 系統將領先業界的缺陷敏感度與高生產性之演算法結合，因而在我們的產量增加計畫中佔有重要的角色。我們目前正將此工具整合至檢測策略中，並且將其使用擴展至我們的生產晶圓廠。擁有這個 eS32 系統，KLA-Tencor 也充分展現出在製造快閃記憶體時，其在線上電子束檢測技術的有效能力。」

由於半導體產業在 65 奈米生產的激增，同時 45 奈米的開發也持續不斷進行，因此 KLA-Tencor 的電子束檢測技術也正朝穩定發展的方向前進。自從 ES32 系統於 2006 年初期問市以來，已經銷售給全球各地區的記憶體與邏輯產品客戶，包括有多張重複訂單訂購多套系統。

KLA-Tencor 電子束檢測部門的副總裁兼總經理 Keith Wells 說道：「Spansion 是業界最積極進取的記憶體公司之一，他們在數項影響良率極為關鍵的檢測步驟中選擇 eS32 系統，正說明了這項先進的檢測技術實際的生產能力。我們的電子束檢測技術除了為客戶提供增強的實體缺陷捕獲功能以外，同時還具有對關鍵的電壓對比 (voltage-contrast) 類型缺陷的卓越的靈敏度，這類導電性缺陷會影響元件性能。

eS32 系統讓客戶能夠擷取影響良率，屬於電晶體層次的缺陷類型，包括不斷出現的底層電子短缺或斷開接點。eS32 的電子束技術擁有最廣泛的操作情況範圍 (束電流，著陸電壓)，並且包括對於關鍵記憶體應用有最佳化效果的預先充電選項。技術領先的記憶體製造商現在都使用 eS32 線上系統，以便克服由於底層及表面缺陷所產生良率減少這種層出不窮的威脅。

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KLA-Tencor 公司簡介：KLA-Tencor 是全球半導體製造和相關產業的良率管理及製程控制解決方案領導廠商。其總部位於美國加州聖荷西，在世界各地設有辦事處和服務機構。屬於 S&P 500 大公司的 KLA-Tencor 在 NASDAQ Global Select Market (納斯達克全球精選市場) 上市交易，交易代碼為 KLAC。關於該公司的相關資訊，請造訪公司網站http://www.kla-tencor.com

- 新聞稿有效日期，至2007/02/05為止

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